1、精密濾芯。精密濾芯又可以稱作為過濾濾芯，主要是用來去除水中的泥沙，大顆粒物質，懸浮物等，過濾的精度有5um和1um。新的濾芯是白色的，隨著使用時間而變黑了。濾芯是一次性的，不能重復使用，要定期更換濾芯。可以根據原水的情況來跟換濾芯，水質的情況好，可以使用的時間長點，水質不好，使用的時間短點。 2、活性炭過濾芯。主要是起到吸附的作用，用來去除水中的異味和余氯，重金屬脫色。余氯對于后面的反滲透膜氧化性比較強，必須要去出水中的余氯，那就必須使用活性炭去除掉。大約為一年左右更換一次的。 3、反滲透膜。反滲透膜是實驗室超純水機的核心部件，是一張孔徑很小的半透明膜。反滲透膜能夠去除肉眼看不到的細菌，病毒以及膠體等物質。具有自動沖洗功能，是用來清除反滲透膜上面的污物。 4、純化柱。純化柱的主要作用是用來對反滲透之后的純水進行進一步的深度脫鹽，其原理是離子交換。純化柱的使用壽命可以根據電導率很直觀的判定。低于特定的值，就說明該更換純化柱了。 5、用水。以自來水為水源的實驗室超純水機會有兩個出口，分別出三級水和一級水。一級水的成本比三級水的成本高，能夠使用三級水盡量不去使用一級水。一級水是通過了純化柱，而三級水卻沒有。
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